精 密 測 定
 三次元測定機    三次元干渉測定顕微鏡
CNC三次元測定機
(株)ミツトヨ
型式:FALCIO-Apex 9166
立体物の寸法や幾何形状などを高精度に測定します。
CNC機能による自動測定、タッチセンサーによりポイント測定や輪郭倣い測定ができます。
  三次元干渉測定顕微鏡
Zygo社(米)
型式:New View 5010
走査型白色干渉法により測定表面の粗さ、段差寸法情報等の三次元表面性状データが得られ、表面粗さやうねりパラメータ、等高線マップ等様々な表現で解析できます。
垂直分解能:0.1 nm

     
輪郭測定機
(株)東京精密
型式:コンタレコード 2600E
精密加工部品の表面形状をトレースして高精度に形状評価を行う測定機です。
測定範囲:Z軸50 mm X軸100 mm
最小測定ピッチ 0.1 μm
  工具顕微鏡
(株)ニコンインステック
形式:MM-100AU

精密に寸法、形状測定が行える顕微鏡です。

金属組織の観察と撮影が行えます。
倍率 25~1000 倍

 ボールバーシステム    
ボールバーシステム
レニショー(株)
型式:QC10
各種CNC工作機械の円弧運動を電気信号で解析することで、工作機械のガタツキの原因や、制御器の不具合を、検査するシステムです。
  ダイヤルゲージ検査機
(株)ミツトヨ
形式:アイチェッカIC 1000
精密加工部品を測定するために使用するダイヤルゲージなどの精密検査を高精度で行える比較測定器です。