材 料 分 析
 
低真空走査電子顕微鏡
日本電子(株)
型式:JSM-6380LA/KM
材料表面の微細構の観察及び材料表面の定性・半定量分析ができる装置です。
  蛍光X線分析装置(エネルギー分散型)
(株)島津製作所
型式:EDX-8000
①材料の定性・半定量分析
②RoHSスクリーニング分析
③簡易膜厚測定
 ができる装置です。
   
デジタルマイクロスコープ
(株)ハイロックス
型式:KH-7700
微細加工面、微小部分、工具の磨耗等の検査に使用されます。
倍率:0~1700倍
3D合成機能あり